Научный журнал
Научное обозрение. Реферативный журнал
ISSN 2500-0802
ПИ №ФС77-61154

ИЗУЧЕНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ПРОТЕКАНИЯ РЕАКЦИИ ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ В КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕДАХ

Кочемировский В.А. 1 Тумкин И.И. 1 Шишкова Е.В. 1
1 ФГБОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет»
Показана принципиальная возможность осаждения меди лазерно-индуцированным методом на керамические и стеклокерамические поверхности из геля, состоящего из компонентов, использующихся для целей химического и электрохимического меднения. Это существенно расширяет сферу возможного применения метода ЛОМР и открывает возможность формирования многослойных проводящих медных структур повышенной миниатюрности и точности для элементов микроэлектроники. Исследовано влияние материала диэлектрической подложки на результат лазерно-индуцированного осаждения меди в конденсированных средах. Разработана методика приготовления тонких пленок на поверхности диэлектрика. Проведена оптимизация состава раствора для получения тонкой пленки осадка, используемого для целей лазерно-индуцированного осаждения. Предложена градиентная модель температурного воздействия лазерного излучения на процесс лазерно-индуцированного осаждения меди из конденсированных фаз и автокаталитических растворов.
EXPLORING THE POSSIBILITY OF THE REACTION OF LASER-INDUCED COPPER DEPOSITION IN CONDENSED MATTER

Kochemirovsky V.A. 1 Tumkin I.I. 1 Shishkova E.V. 1
1 Saint-Petersburg State University

Abstract:
The principal possibility of depositing copper laser-induced method for ceramic and glass-ceramic surface of the gel, which consists of the components used for the purposes of chemical and electrochemical copper plating. This significantly expands the scope of possible applications of the method and opens the possibility of forming a conductive copper multilayer structures for microelectronic components The influence of the dielectric substrate material on the result of laser-induced deposition of copper in condensed media. The optimization of the composition of the solution to form a thin film precipitate used for laser-induced deposition.Temperature gradient model proposed by influence of laser irradiation on the process of laser-induced deposition of copper from the condensed phases and autocatalytic solutions.

Keywords:

Библиографическая ссылка

Кочемировский В.А., Тумкин И.И., Шишкова Е.В. ИЗУЧЕНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ПРОТЕКАНИЯ РЕАКЦИИ ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ В КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕДАХ // Научное обозрение. Реферативный журнал. – 2015. – № 2. – С. 161-162;
URL: http://abstract.science-review.ru/ru/article/view?id=601 (дата обращения: 05.08.2020).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1.074